掺氮非晶金刚石薄膜论文

论文摘要本文采用过滤阴极真空电弧沉积系统制备掺氮非晶金刚石薄膜,开展对掺杂工艺控制、薄膜光电性能和结构表征以及掺杂机制的研究,获得性能优异的光电薄膜材料,并将其用作锗红外窗口除...