闭合状态论文

磁场的闭合状态对磁控溅射Cr镀层沉积过程影响的研究
论文摘要课题通过调整磁控溅射设备中磁控管磁铁的极性和磁感应强度,形成不同的磁场组合状态,沉积了纯金属Cr镀层。通过对镀层的性能和组织结构的检测分析,研究了磁场的不同的闭合状态和...