表面形貌测量论文

大范围、高深—宽比扫描隧道显微镜技术研究
论文摘要目前,在表面形貌测量领域,扫描探针测量装置是最直接、最能如实反映被测试件表面形貌的有效工具。扫描隧道显微镜（ScanningTunnelingMicroscope,ST...
基于白光干涉的表面形貌接触和非接触两用测量系统的研究
论文摘要表面形貌的测量方法通常可分接触式和非接触式两种,这两种方法在许多方面具有互补性且各自有自己的应用领域,因此有必要将两种测量技术集合组成一种混合型的测量仪器。本文以白光干...