表面疵病检测论文

硬盘盘片表面缺陷检测装置光学系统设计
论文摘要根据光的散射理论可知,当光照射粗糙表面时会发生散射现象。本文利用氩离子激光器作为光源,将其发出的光束通过激光整形系统后变成椭圆光,然后用其照射待检盘片表面。由于盘片表面...