薄膜厚度测量论文

基于DSP的非接触薄膜厚度在线测量控制系统研究
论文摘要随着现代科学技术的发展,高速、高精度的在线检测技术越来越受到生产工程领域研究人员的关注,在线检测技术水平直接影响到生产线的效率、产品质量以及自动化程度。本课题就生产过程...
薄膜厚度的α能损法测量和γ谱探测效率的MCNP模拟描述方法研究
论文摘要薄膜厚度分析在材料科学、半导体技术、光学器件及生物材料中历来受到人们的重视，随着薄膜技术的应用与发展，越来越需要有对膜厚更加准确和灵敏的测量方法和技术。通常采用的膜厚光...