薄膜电阻率论文

论文摘要电阻率是电子材料的重要性能参数,薄膜电阻率的测量备受关注。采用传统四探针电阻率测量方法测量薄膜电阻率,需要加入较多的修正才能得到精确结果,而且手动四探针测量设备很容易划...

论文摘要在深亚微米（0.15μm及以下）集成电路制造中，后段工艺日趋重要，为降低阻容迟滞（RCDelay），保证信号传输，减小功耗，有必要对后段工艺进行改进，Via阻挡层MOC...