半导体晶圆制造系统论文

半导体晶圆厂时变多目标生产调度优化研究
论文摘要针对半导体晶圆制造系统（SemiconductorWaferFabricationSystem,SWFS）调度中的多目标优化和目标时变性问题,提出一种时变多目标（Tim...