靶电流论文

论文摘要本文阐述了多弧离子镀技术的原理﹑特点﹑应用及发展现状，并对TiN﹑CrN﹑TiCrN薄膜进行了综述。采用自制XH800型多弧离子镀设备在YG6硬质合金表面制备了TiN薄...

本文主要研究内容作者韩明月,李刘合,李花,艾猛,罗阳（2019）在《高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)等离子体放电时空特性研究进展》一文中研究指出：高功率脉冲磁控溅射(HiPI...