薄膜体声波谐振器(FBAR)

导读:本文包含了氧化锌薄膜论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:薄膜体声波谐振器(FBAR),氧化锌(ZnO),谐振频率,射频磁控溅射氧化锌薄膜论文文献综述陈熙,...