微电子学2019年03期论文

本文主要研究内容作者王健健,白华,许高博,李梅,毕津顺（2019）在《Hf0.5Zr0.5O2基铁电电容器的特性研究》一文中研究指出：利用原子层淀积工艺制备了9nm厚的铪锆氧(...