直驱技术论文

晶圆搬运机器人的开发及控制系统设计
论文摘要本课题以基于SCARA(SelectiveComplianceAssemblyRobotArm)机械臂模型的直驱晶圆搬运机器人为研究核心,开发出用于半导体制造行业特定生...