阳极氧化铝模板(Anodic Aluminum oxide , AAO)是一种具有纳米孔径的透明模板,其孔径在20-200nm范围内可控,孔径大小一致并且分布高度有序。本文研究了电压的大小、电解液的种类、电解液的浓度对所制备的阳极氧化铝模板的影响。氧化电压是孔径和孔密度的主要影响因素;电解液浓度是孔形貌的主要影响因素;氧化时间和电流密度是膜厚的主要影响因素;提高电流密度可以加快膜的生成速度;不同的电解液对孔径也有影响,相同条件下,草酸溶液中生成的氧化膜的孔径大于硫酸溶液中生成的氧化膜的孔径。综上,氧化铝膜的膜参数(包括孔径、膜厚和有序度等)都受到电压、温度、时间和电解液浓度等多重因素的影响,在整个氧化过程中各个因素相互制约、相互协调。尝试在混酸中制备AAO模板:用草酸和硫酸的混合电解液,磷酸和硫酸的混合电解液制备AAO模板。制备出较低电压下大孔径的AAO模板。制备出孔径可控、孔阵列高度有序的AAO薄膜是开展与其相关的纳米结构合成及物性研究的基础。本文所做的研究对于纳米结构与纳米材料的制备和应用都有重要意义。
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