基于负载/源牵引法的微波大功率自动测试系统的
论文摘要
随着半导体器件的迅速发展,半导体器件的计量测试在器件的研制和应用中占有重要的地位。通过各种工艺制成的器件,最终检验其性能的优劣就是通过对器件的参数测试来完成的。在器件的应用中必须提供器件的特性参数才能进行要求的电路设计,从而实施电路的结构和装调。基于负载/源牵引法的微波大功率自动测试系统能使用户在完全真实的情况下将已知的负载/源阻抗加到被测器件,从而找到被测器件参数的各种变化和最佳值。 本文主要介绍微波大功率自动测试系统的研制以及测试系统的实际应用,其中对于测试系统的核心部件——自动调配器的研究工作进行了扩展,包括滑块结构对反射系数的影响,以及利用不同双滑块进行频带的扩展两个方面。本文首先介绍了负载牵引法的重要性以及微波大功率自动测试系统研制的必要性。其中较为详细的介绍了测试系统的搭建,自动调配器的校准软件,以及系统的测试软件。最后介绍微波大功率自动测试系统的实际应用,其中主要是功率器件的参数测试,包括输入输出阻抗,交调,功率增益等,并将测试系统的应用延伸到了振荡器的频率牵引。 本项目是与中国电子科技集团第4l研究所共同合作完成的。该项目已于2006年12月4日通过专家组的验收。但目前测试系统仍然存在一些测试软件方面的不足。
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摘要ABSTRACT第一章 绪论1.1 课题研究的目的和意义1.2 国内外现状与发展趋势1.3 论文的主要工作和内容安排第二章 负载/源牵引法的介绍2.1 负载/源牵引测试技术简介2.2 负载/源牵引法的原理2.2.1 功率器件匹配网络的设计2.2.2 负载牵引法的引入2.2.3 负载牵引法的原理及过程第三章 微波大功率自动测试系统的研制3.1 自动调配器的设计3.1.1 自动调配器的结构设计3.1.2 自动调配器反射系数的研究3.1.3 扩展自动调配器测试带宽的方法与仿真结果3.2 自动调配器控制电路的设计3.3 自动调配器软件介绍3.3.1 自动调配器控制软件介绍3.3.2 自动调配器校准软件的介绍第四章 微波大功率自动测试系统介绍4.1 微波大功率自动测试系统的搭建4.2 微波大功率自动测试系统测试软件的介绍4.2.1 测试软件设计思想4.2.2 测试软件使用介绍第五章 微波大功率自动测试系统的应用5.1 晶体管等功率圆的测试5.2 晶体管等增益圆的测试5.3 晶体管放大器噪声系数的测试5.4 晶体管IMD等值曲线的测试5.5 不同状态下的晶体管输入输出阻抗的测试及匹配电路的设计5.6 功率放大器输出端反射系数的测试5.7 晶体管输出功率/增益1dB压缩点测试5.8 振荡器振荡频率负载牵引的测试结论致谢参考文献作者在读期间的研究成果
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