计算机控制小工具抛光去除函数的优化设计及工艺研究

论文摘要

本文针对大口径非球面光学元件抛光,系统地分析了抛光机理,并归纳总结了国内外发展动态。重点对计算机控制小工具抛光加工方法进行了深入的分析和研究,根据Preston方程,建立两种运动方式的数学模型,对基于加工仿真的表面去除函数的模拟,得出了抛光加工工艺参数;经实际加工结果与模拟结果基本吻合,验证了此模拟优化方法的可行性,对实际的加工具有一定的指导性;同时对工件加工的边缘效应做了一定的分析,得出解决方法。制备出的光学玻璃元件达到的技术指标为:K9非球面光学镜片330mm×330mm,面形精度可达到λ/5;表面粗糙度Rq≤1.5nm。

论文目录

• 摘要
• ABSTRACT
• 第一章 绪论
• 1.1 引言
• 1.2 计算机控制光学表面成形技术（CCOS）
• 1.3 国内外发展概况
• 1.4 论文的主要研究内容
• 第二章 计算机控制小工具抛光技术理论
• 2.1 光学玻璃的抛光原理
• 2.2 CCOS 技术的理论基础
• 2.3 本章小结
• 第三章 计算机控制小工具抛光去除函数的优化设计
• 3.1 引言
• 3.2 计算机控制小工具抛光技术中磨头去除函数的计算机模拟和优化
• 3.3 磨头驻留函数的求解方法
• 3.4 基于加工表面去除函数的仿真模拟方法
• 3.5 中心去除量不足的解决方法
• 3.6 边缘效应的解决方法
• 3.7 本章小结
• 第四章 影响抛光效率因素分析
• 4.1 抛光粉、抛光模的选择及抛光液的配制
• 4.2 工件上盘的方法
• 4.3 抛光工艺研究
• 4.4 计算机控制加工实验
• 4.5 本章小结
• 第五章 总结和展望
• 5.1 全文总结
• 5.2 展望
• 致谢
• 参考文献