本文主要研究内容
作者李婷婷,周炳卿,闫泽飞（2019）在《氮气流量对非晶SiNx到含有Si3N4晶粒的富硅-SiNx薄膜转变的影响》一文中研究指出：基于等离子体增强化学气相沉积（PECVD）技术,应用高纯硅烷和氮气为反应气体,通过设置氮气流量分别为100 sccm、200 sccm、300 sccm和400 sccm四个梯度,研究非晶SiNx到含有Si3N4晶粒的富硅SiNx薄膜材料转变的影响,并利用傅里叶红外变换谱、紫外-可见光谱和X射线衍射谱对薄膜样品结构进行表征.结果表明,随着N2流量的增加,SiNx薄膜中氮原子浓度减小,Si-N键密度减小,Si-H键密度增加,薄膜中出现Si-Si键并且密度逐渐增加,非晶SiNx逐渐向富硅SiNx薄膜转变.同时薄膜光学带隙逐渐变大,缺陷态密度增加,微观结构的有序度减小,也说明N2的增加对富硅SiNx薄膜产生有促进作用.此外,薄膜内出现了Si3N4结晶颗粒,且晶粒尺度随着N2流量增加而减小,进一步说明薄膜从非晶SiNx逐渐向含Si3N4结晶颗粒的富硅SiNx转变.该实验证明了采用PECVD技术制备SiNx薄膜时,通过控制N2流量,有助于薄膜从非晶SiNx逐渐向含有结晶的Si3N4的富硅SiNx薄膜转变.
Abstract
ji yu deng li zi ti zeng jiang hua xue qi xiang chen ji （PECVD）ji shu ,ying yong gao chun gui wan he dan qi wei fan ying qi ti ,tong guo she zhi dan qi liu liang fen bie wei 100 sccm、200 sccm、300 sccmhe 400 sccmsi ge ti du ,yan jiu fei jing SiNxdao han you Si3N4jing li de fu gui SiNxbao mo cai liao zhuai bian de ying xiang ,bing li yong fu li xie gong wai bian huan pu 、zi wai -ke jian guang pu he Xshe xian yan she pu dui bao mo yang pin jie gou jin hang biao zheng .jie guo biao ming ,sui zhao N2liu liang de zeng jia ,SiNxbao mo zhong dan yuan zi nong du jian xiao ,Si-Njian mi du jian xiao ,Si-Hjian mi du zeng jia ,bao mo zhong chu xian Si-Sijian bing ju mi du zhu jian zeng jia ,fei jing SiNxzhu jian xiang fu gui SiNxbao mo zhuai bian .tong shi bao mo guang xue dai xi zhu jian bian da ,que xian tai mi du zeng jia ,wei guan jie gou de you xu du jian xiao ,ye shui ming N2de zeng jia dui fu gui SiNxbao mo chan sheng you cu jin zuo yong .ci wai ,bao mo nei chu xian le Si3N4jie jing ke li ,ju jing li che du sui zhao N2liu liang zeng jia er jian xiao ,jin yi bu shui ming bao mo cong fei jing SiNxzhu jian xiang han Si3N4jie jing ke li de fu gui SiNxzhuai bian .gai shi yan zheng ming le cai yong PECVDji shu zhi bei SiNxbao mo shi ,tong guo kong zhi N2liu liang ,you zhu yu bao mo cong fei jing SiNxzhu jian xiang han you jie jing de Si3N4de fu gui SiNxbao mo zhuai bian .
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自内蒙古师范大学学报(自然科学汉文版)的李婷婷,周炳卿,闫泽飞，发表于刊物内蒙古师范大学学报(自然科学汉文版)2019年03期论文，是一篇关于技术论文,氮气流量论文,晶粒论文,富硅氮化硅薄膜论文,内蒙古师范大学学报(自然科学汉文版)2019年03期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自内蒙古师范大学学报(自然科学汉文版)2019年03期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。
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