N和Al共掺杂TiO2薄膜的制备及性能研究

N和Al共掺杂TiO2薄膜的制备及性能研究

论文摘要

二氧化钛是一种宽禁带半导体,性质稳定、无毒、具有高效的光催化活性,已成为最有开发前途的绿色环保型光催化剂。然而,TiO2光催化剂自身也存在一些缺陷:①光生电子和空穴易复合,量子产率低;②禁带宽度较大(3.0~3.2eV),光吸收波长范围狭窄,主要在紫外区,只能利用太阳光中占2~4%的紫外线部分;这些缺陷一直制约着TiO2光催化技术的应用。如何拓展TiO2光催化剂可见光响应范围和提高其光催化效率是解决TiO2光催化技术应用的关键。因此,研制可见光激发的高效纳米TiO2半导体光催化剂具有重大意义。本文采用真空电弧沉积法在玻璃基片和硅片上沉积了纯TiO2薄膜、N掺杂TiO2薄膜、N和Al共掺杂TiO2薄膜。采用基于第一性原理的量化软件计算了N掺杂TiO2、N和Al共掺杂TiO2的电子结构,研究了N掺杂、N和Al共掺杂对TiO2薄膜的结构、成分、表面形貌、光学、光催化、抗菌性能的影响,探讨共掺杂对TiO2光催化活性影响机制。主要研究结果如下:第一性原理的量化软件计算结果表明,少量N掺杂使锐钛矿TiO2带隙宽度变窄;N和Al替位共掺杂使锐钛矿TiO2带隙宽度变大,而N和Al间隙共掺杂使其带隙宽度变窄。对纯TiO2薄膜、N掺杂TiO2薄膜、N和Al共掺杂TiO2薄膜而言,沉积态薄膜均为非晶相,400℃退火处理后的薄膜均为锐钛矿相,呈A(101)晶面择优取向。在薄膜上形成了呈圆形或椭圆形的颗粒和微孔;随着薄膜沉积时间延长,吸收边发生红移。N掺杂导致TiO2薄膜吸收边发生红移,扩展了其吸收波长范围。对N掺杂TiO2薄膜的光催化效率而言,沉积15min、500℃退火处理N掺杂TiO2薄膜的可见光催化活性最高,离子束辅助沉积TiO2-xNx薄膜的可见光催化活性明显提高。N和Al共掺杂TiO2薄膜,抑制了TiO2的晶相转变,提高了其晶化温度。无论是在紫外光下还是人工模拟太阳光下,其对酸性品红的降解效果存在一个最佳退火温度。500℃退火处理N和Al共掺杂TiO2薄膜的光催化活性最高。N和Al共掺杂TiO2薄膜,提高了其载流子的迁移率,有效抑制光生载流子的复合,二者的协同作用提高了它的可见光催化活性。就可见光催化活性而言,N和Al共掺杂TiO2薄膜>TiO2-xNx薄膜>纯TiO2薄膜。N和Al共掺杂TiO2薄膜可见光催化降解酸性品红时,降解全过程并不简单地遵从一级反应动力学方程式,降解过程经历了不同的反应历程,反应过程中,前、后两个阶段具有不同的表观速率常数,提出可见光光催化降解反应动力学模型,并进行了实验验证。纯TiO2薄膜、TiO2-xNx薄膜、N和Al共掺杂TiO2薄膜均具有较强的抗菌活性,光照2h后,抗菌率均达到99.9%以上。薄膜厚度对大肠杆菌的抗菌率影响大于对金黄色葡萄球菌抗菌率影响;离子束辅助沉积有助于TiO2薄膜抗菌活性的提高。

论文目录

  • 摘要
  • ABSTRACT
  • 目录
  • CONTENTS
  • 第一章 绪论
  • 1.1 二氧化钛的基本性质
  • 2薄膜制备方法'>1.2 TiO2薄膜制备方法
  • 1.2.1 溶胶-凝胶法
  • 2薄膜的物理气相沉积制备方法'>1.2.2 TiO2薄膜的物理气相沉积制备方法
  • 2的可见光催化研究'>1.3 TiO2的可见光催化研究
  • 1.3.1 非金属掺杂
  • 1.3.2 金属离子掺杂
  • 1.3.3 金属/非金属共掺杂
  • 1.3.4 染料敏化
  • 1.3.5 复合半导体
  • 1.4 半导体光催化的应用
  • 2薄膜结构的工艺参数'>1.5 影响纳米TiO2薄膜结构的工艺参数
  • 2薄膜晶体结构的影响'>1.5.1 基体温度对纳米TiO2薄膜晶体结构的影响
  • 2薄膜晶体结构的影响'>1.5.2 氧分压对纳米TiO2薄膜晶体结构的影响
  • 2薄膜晶体结构的影响'>1.5.3 退火温度对纳米TiO2薄膜晶体结构的影响
  • 2薄膜晶体结构的影响'>1.5.4 基片种类对纳米TiO2薄膜晶体结构的影响
  • 2薄膜结构的影响'>1.5.5 掺杂对纳米TiO2薄膜结构的影响
  • 1.6 本文的研究背景及研究意义
  • 1.7 本文主要研究内容
  • 第二章 实验方法及检测仪器
  • 2.1 实验设备与主要化学试剂
  • 2.1.1 镀膜设备
  • 2.1.2 其他仪器设备
  • 2.1.3 基体材料及化学试剂
  • 2.2 实验方法
  • 2.2.1 基片清洗
  • 2.2.2 制备薄膜操作步骤
  • 2.3 薄膜结构与性能表征方法
  • 2薄膜的光催化实验与活性验证'>2.4 TiO2薄膜的光催化实验与活性验证
  • 2.4.1 光催化剂性能测试
  • 2.4.2 光催化活性的测定
  • 2.4.3 抗菌性能测试
  • 2.5 本章小结
  • 2的电子结构'>第三章 掺杂TiO2的电子结构
  • 3.1 第一性原理
  • 3.1.1 密度泛函理论基础
  • 3.1.2 交换关联能泛函
  • 3.1.3 平面波赝势方法
  • 3.2 计算模型和方法
  • 2晶体结构'>3.2.1 锐钛矿TiO2晶体结构
  • 2的计算结构模型'>3.2.2 掺杂TiO2的计算结构模型
  • 3.2.3 计算参数设置
  • 2电子结构的影响'>3.3 掺杂元素对TiO2电子结构的影响
  • 2晶体结构的影响'>3.3.1 掺杂元素对TiO2晶体结构的影响
  • 2电子结构的影响'>3.3.2 N掺杂对TiO2电子结构的影响
  • 2电子结构的影响'>3.3.3 Al掺杂对TiO2电子结构的影响
  • 2电子结构的影响'>3.3.4 N和Al共掺杂对TiO2电子结构的影响
  • 3.4 本章小结
  • 2薄膜及工艺优化'>第四章 真空电弧法沉积TiO2薄膜及工艺优化
  • 2薄膜的制备工艺'>4.1 纯TiO2薄膜的制备工艺
  • 2薄膜结构和性能的影响'>4.2 工艺参数对TiO2薄膜结构和性能的影响
  • 2薄膜显微组织结构和性能影响'>4.2.1 氧分压对纯TiO2薄膜显微组织结构和性能影响
  • 2薄膜显微组织结构和性能影响'>4.2.2 沉积时间对TiO2薄膜显微组织结构和性能影响
  • 2薄膜显微组织结构和性能的影响'>4.2.3 离子束辅助对TiO2薄膜显微组织结构和性能的影响
  • 2薄膜显微组织结构和性能的影响'>4.2.4 退火温度对TiO2薄膜显微组织结构和性能的影响
  • 4.3 本章小结
  • 2薄膜制备及可见光催化活性'>第五章 N掺杂TiO2薄膜制备及可见光催化活性
  • 2薄膜显微组织结构和性能的影响'>5.1 氧氮比对N掺杂TiO2薄膜显微组织结构和性能的影响
  • 5.1.1 试样的制备
  • 2薄膜的相组成的影响'>5.1.2 氧氮比对N掺杂TiO2薄膜的相组成的影响
  • 2薄膜表面化学组成分析'>5.1.3 N掺杂TiO2薄膜表面化学组成分析
  • 2薄膜表面形貌的影响'>5.1.4 氧氮比对N掺杂TiO2薄膜表面形貌的影响
  • 2薄膜的UV-Vis光学性能的影响'>5.1.5 氧氮比对N掺杂TiO2薄膜的UV-Vis光学性能的影响
  • 2薄膜可见光催化活性的影响'>5.1.6 氧氮比对N掺杂TiO2薄膜可见光催化活性的影响
  • 2薄膜显微组织结构和性能的影响'>5.2 沉积时间对N掺杂TiO2薄膜显微组织结构和性能的影响
  • 5.2.1 试样的制备
  • 2薄膜相组成的影响'>5.2.2 沉积时间对N掺杂TiO2薄膜相组成的影响
  • 2薄膜表面形貌的影响'>5.2.3 沉积时间对N掺杂TiO2薄膜表面形貌的影响
  • 2薄膜UV-Vis光学性能的影响'>5.2.4 沉积时间对N掺杂TiO2薄膜UV-Vis光学性能的影响
  • 2薄膜可见光催化活性的影响'>5.2.5 沉积时间对N掺杂TiO2薄膜可见光催化活性的影响
  • 2膜显微组织结构和性能影响'>5.3 离子束辅助对N掺杂TiO2膜显微组织结构和性能影响
  • 5.3.1 试样的制备
  • 2薄膜相组成的影响'>5.3.2 离子束辅助对N掺杂TiO2薄膜相组成的影响
  • 2薄膜表面化学组成分析'>5.3.3 离子束辅助对N掺杂TiO2薄膜表面化学组成分析
  • 2薄膜表面形貌的影响'>5.3.4 离子束辅助对N掺杂TiO2薄膜表面形貌的影响
  • 2膜UV-Vis光学性能的影响'>5.3.5 离子束辅助沉积对N掺杂TiO2膜UV-Vis光学性能的影响
  • 2薄膜可见光催化活性的影响'>5.3.6 离子束辅助沉积对N掺杂TiO2薄膜可见光催化活性的影响
  • 2薄膜显微组织结构和性能的影响'>5.4 退火处理对N掺杂TiO2薄膜显微组织结构和性能的影响
  • 5.4.1 试样的制备
  • 2薄膜的相组成的影响'>5.4.2 退火温度对N掺杂TiO2薄膜的相组成的影响
  • 2薄膜UV-Vis光学性能的影响'>5.4.3 退火温度对N掺杂TiO2薄膜UV-Vis光学性能的影响
  • 2薄膜可见光催化活性的影响'>5.4.4 退火温度对N掺杂TiO2薄膜可见光催化活性的影响
  • 2薄膜光催化活性比较'>5.4.5 不同光源下N掺杂TiO2薄膜光催化活性比较
  • 5.5 本章小结
  • 2薄膜制备及光催化活性'>第六章 N和Al共掺杂TiO2薄膜制备及光催化活性
  • 2薄膜显微组织结构和性能影响'>6.1 氧氮比对N和Al共掺杂TiO2薄膜显微组织结构和性能影响
  • 6.1.1 试样制备
  • 2薄膜相组成的影响'>6.1.2 氧氮比对N和Al共掺杂TiO2薄膜相组成的影响
  • 2薄膜表面化学组成分析'>6.1.3 N和Al共掺杂TiO2薄膜表面化学组成分析
  • 2薄膜微观形貌的影响'>6.1.4 氧氮比对N和Al共掺杂TiO2薄膜微观形貌的影响
  • 2薄膜的UV-Vis光学性能的影响'>6.1.5 氧氮比对N和Al共掺杂TiO2薄膜的UV-Vis光学性能的影响
  • 2薄膜光催化活性的影响'>6.1.6 氧氮比对N和Al共掺杂TiO2薄膜光催化活性的影响
  • 2膜显微组织结构和性能影响'>6.2 沉积时间对N和Al共掺杂TiO2膜显微组织结构和性能影响
  • 6.2.1 试样制备
  • 2薄膜相组成的影响'>6.2.2 沉积时间对N和Al共掺杂TiO2薄膜相组成的影响
  • 2薄膜表面形貌的影响'>6.2.3 沉积时间对N和Al共掺杂TiO2薄膜表面形貌的影响
  • 2薄膜UV-Vis光学性能的影响'>6.2.4 沉积时间对N和Al共掺杂TiO2薄膜UV-Vis光学性能的影响
  • 2薄膜光催化活性的影响'>6.2.5 沉积时间对N和Al共掺杂TiO2薄膜光催化活性的影响
  • 2薄膜显微组织结构和性能影响'>6.3 退火处理对N和Al共掺杂TiO2薄膜显微组织结构和性能影响
  • 6.3.1 试样退火处理
  • 2薄膜相组成的影响'>6.3.2 退火温度对N和Al共掺杂TiO2薄膜相组成的影响
  • 2薄膜表面形貌的影响'>6.3.3 退火温度对N和Al共掺杂TiO2薄膜表面形貌的影响
  • 2薄膜的UV-Vis光学性能的影响'>6.3.4 退火温度对N和Al共掺杂TiO2薄膜的UV-Vis光学性能的影响
  • 2薄膜光催化活性的影响'>6.3.5 退火温度对N和Al共掺杂TiO2薄膜光催化活性的影响
  • 2薄膜光催化影响机制研究'>6.4 N和Al共掺杂TiO2薄膜光催化影响机制研究
  • 2方法的特色'>6.4.1 N和Al共掺杂TiO2方法的特色
  • 6.4.2 晶型分析
  • 6.4.3 紫外-可见光谱
  • 6.4.4 光催化活性
  • 6.4.5 光催化降解反应动力学模型的提出及验证
  • 6.5 本章小结
  • 2薄膜的抗菌性能'>第七章 掺杂TiO2薄膜的抗菌性能
  • 7.1 实验材料及仪器
  • 7.1.1 实验样品
  • 7.1.2 实验菌种
  • 7.1.3 培养基
  • 7.1.4 实验仪器
  • 7.1.5 实验方法
  • 2薄膜的抗菌性能'>7.2 纯TiO2薄膜的抗菌性能
  • 2薄膜的抗菌性能的影响'>7.2.1 氧分压对纯TiO2薄膜的抗菌性能的影响
  • 2薄膜的抗菌性能的影响'>7.2.2 沉积时间对纯TiO2薄膜的抗菌性能的影响
  • 2薄膜的抗菌性能的影响'>7.2.3 离子束流对纯TiO2薄膜的抗菌性能的影响
  • 2薄膜的抗菌性能影响'>7.2.4退火温度对纯TiO2薄膜的抗菌性能影响
  • 2薄膜的抗菌性能的影响'>7.2.5 光照时间对纯TiO2薄膜的抗菌性能的影响
  • 2薄膜的抗菌性能'>7.3 N掺杂TiO2薄膜的抗菌性能
  • x)Nx薄膜抗菌效率的影响'>7.3.1 氧氮比对TiO(2x)Nx薄膜抗菌效率的影响
  • 2-xNx薄膜的抗菌性能的影响'>7.3.2 沉积时间对TiO2-xNx薄膜的抗菌性能的影响
  • 2-xNx薄膜的抗菌性能影响'>7.3.3 退火温度对TiO2-xNx薄膜的抗菌性能影响
  • 2-xNx薄膜的抗菌性能的影响'>7.3.4 光照时间对TiO2-xNx薄膜的抗菌性能的影响
  • 2-xNx薄膜的抗菌性能'>7.3.5 离子束辅助沉积纳米TiO2-xNx薄膜的抗菌性能
  • 2薄膜的抗菌性能'>7.4 N和Al共掺杂TiO2薄膜的抗菌性能
  • 2薄膜抗菌效率的影响'>7.4.1 氧氮比对N和Al共掺杂TiO2薄膜抗菌效率的影响
  • 2薄膜的抗菌性能的影响'>7.4.2 沉积时间对N和Al共掺杂TiO2薄膜的抗菌性能的影响
  • 2薄膜的抗菌性能的影响'>7.4.3 退火温度对N和Al共掺杂TiO2薄膜的抗菌性能的影响
  • 2薄膜抗菌效率的影响'>7.4.4 光照时间对N和Al共掺杂TiO2薄膜抗菌效率的影响
  • 2薄膜的抗菌率比较'>7.4.5 不同掺杂TiO2薄膜的抗菌率比较
  • 7.5 本章小结
  • 结论与展望
  • 本论文的研究特色与创新
  • 参考文献
  • 攻读博士学位期间发表的论文
  • 攻读博士学位期间参加的研究课题
  • 致谢
  • 相关论文文献

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