纳米位移测量中的干涉条纹技术研究

纳米位移测量中的干涉条纹技术研究

论文摘要

纳米技术的研究已经成为社会发展的必然趋势,而纳米测量技术在纳米技术中又占据了极其重要的位置,所以说纳米技术的发展离不开纳米测量技术。纳米测量技术包括:纳米级精度的尺寸和位移的测量,纳米级表面形貌的测量以及纳米级物理与化学特性的测量等。本文讨论的是纳米位移测量中的干涉条纹技术,主要研究在干涉纳米位移测量中以CCD代替传统的光电探测器作为条纹拾取工具,通过对图像相关运算得到干涉光强相关曲线,再经插补实现对条纹的细分及对纳米位移的精确测量。使用这个方法的优点是CCD阵列与相关运算可降低噪声的影响。该方法也可以用于分析激光干涉纳米光刻产生的纳米结构图案的质量(特征参数的均匀性)。本文设计了相关运算和插补方法求相位差的方案,其中使用Matlab软件对已知的两干涉条纹实现相关运算和插补。首先在已知的两等间隔的干涉条纹图形中,取两相同大小的图像块分别做自相关和互相关,再经插补的方法对条纹进行细分。通过得到的曲线图形和数值,分析并计算出相位差值。实验结果表明,在干涉测量中,用这种方法求两等间隔条纹的相位差是非常有意义的,此法可行性好,并且有高精确度和高抗噪性的优点,其结果可达纳米级。

论文目录

  • 摘要
  • ABSTRACT
  • 目录
  • 第一章 绪论
  • 1.1 引言
  • 1.2 纳米位移测量技术的发展状况
  • 1.3 研究目的和意义
  • 1.4 研究内容与结构安排
  • 第二章 光干涉测量的基本原理
  • 2.1 光的干涉
  • 2.2 干涉测量技术的应用
  • 2.3 本章小结
  • 第三章 基于均方差运算的条纹位移测量
  • 3.1 原理
  • 3.2 实验结果讨论
  • 3.3 本章小结
  • 第四章 基于相关运算的条纹位移测量
  • 4.1 相关运算
  • 4.2 相关运算的方法求相位差的原理
  • 4.3 相关运算的方法求相位差的实验研究
  • 4.4 相关运算的优势
  • 4.5 本章小结
  • 第五章 条纹细分
  • 5.1 插补
  • 5.2 曲线拟合
  • 5.3 线性插补与曲线拟合方法的比较
  • 5.4 本章小结
  • 第六章 误差分析
  • 6.1 误差表达式
  • 6.2 误差讨论
  • 6.3 本章小结
  • 第七章 结论
  • 致谢
  • 参考文献
  • 发表论文
  • 相关论文文献

    • [1].中科院长春应化所:发现多功能诊疗纳米颗粒[J]. 中国粉体工业 2018(06)
    • [2].纳米,最熟悉的“陌生人”[J]. 中国粉体工业 2017(05)
    • [3].纳米线形锂离子电池正极材料的研究进展[J]. 现代化工 2019(12)
    • [4].纳米颗粒药物研发态势报告[J]. 高科技与产业化 2019(11)
    • [5].Staphylococcus saprophyticus JJ-1协同所合成的钯纳米颗粒还原邻氯硝基苯[J]. 云南大学学报(自然科学版) 2020(01)
    • [6].氟化锶纳米板的高压相变行为研究[J]. 吉林师范大学学报(自然科学版) 2020(01)
    • [7].微(纳米)塑料对淡水生物的毒性效应[J]. 吉林师范大学学报(自然科学版) 2020(01)
    • [8].纳米绿色喷墨版的印刷适性[J]. 印刷工业 2019(06)
    • [9].纳米凝胶复合物[J]. 乙醛醋酸化工 2019(12)
    • [10].十氢十硼酸双四乙基铵/纳米铝复合物的制备及其性能[J]. 科学技术与工程 2019(36)
    • [11].细胞膜涂层的仿生纳米颗粒在癌症治疗中的研究进展[J]. 沈阳药科大学学报 2020(01)
    • [12].纳米酶的发展态势与优先领域分析[J]. 中国科学:化学 2019(12)
    • [13].稀土纳米晶用于近红外区活体成像和传感研究进展[J]. 化学学报 2019(12)
    • [14].纳米细菌在骨关节疾病中的研究进展[J]. 吉林医学 2020(01)
    • [15].纳米酶和铁蛋白新特性的发现和应用[J]. 自然杂志 2020(01)
    • [16].纳米酶:疾病治疗新选择[J]. 中国科学:生命科学 2020(03)
    • [17].氧化石墨烯纳米剪裁方法[J]. 发光学报 2020(03)
    • [18].薄层二维纳米颗粒增效泡沫制备及机理分析[J]. 中国科技论文 2019(12)
    • [19].纳米TiO_2基催化剂在环保功能路面应用的研究进展[J]. 中国材料进展 2020(01)
    • [20].铁蛋白纳米笼的研究进展[J]. 中国新药杂志 2020(02)
    • [21].不锈钢表面双重纳米结构的构建及疏水性能研究[J]. 生物化工 2020(01)
    • [22].基于溶解度法的纳米镉、铅、银硫化物的热力学性质研究[J]. 济南大学学报(自然科学版) 2020(02)
    • [23].农药领域中新兴技术——纳米农药及制剂[J]. 农药市场信息 2020(03)
    • [24].纳米TiO_2光催化涂料的研究进展[J]. 山东化工 2020(01)
    • [25].纳米颗粒对含石蜡玻璃窗光热特性影响[J]. 当代化工 2020(01)
    • [26].交流电热流对导电岛纳米电极介电组装的影响[J]. 西安交通大学学报 2020(02)
    • [27].我国纳米科技产业发展现状研究——基于技术维度视角[J]. 产业与科技论坛 2020(01)
    • [28].Al_2O_3@Y_3Al_5O_(12)纳米短纤维对铝合金基复合材料的增强作用[J]. 复合材料学报 2020(02)
    • [29].表面纳米轴向光子的最新进展[J]. 光学与光电技术 2020(01)
    • [30].中国科学院大学地球与行星科学学院教授琚宜文:践履笃实纳米地质情 创新不息科技强国梦[J]. 中国高新科技 2020(02)

    标签:;  ;  ;  ;  

    纳米位移测量中的干涉条纹技术研究
    下载Doc文档

    猜你喜欢