宽光束波前检测子孔径拼接技术

论文摘要

目前检测大口径光学系统质量不仅难度大,而且制造周期长,制造成本高。因此,用小口径、高精度、高分辨率的干涉仪来复原大口径光学元件的波前相位数据。这是一项新的高精度大孔径面形检测手段。既保留了干涉测量的高精度,又免去了使用与全孔径尺寸相同的标准波面,降低了成本。本文通过对被测元件和波面进行扫描,得到不同的子孔径图像,利用这些子孔径图像中的重合部分,消除扫描过程中造成的它们之间的相对倾斜和平移,从而拼接成一副图像。在理论分析的基础上,建立物理模型和数学模型,模拟实际光路实现子孔径拼接,通过对比实验实际计算得到误差达4.3允‰,同时本文还对子孔径拼接精度的影响因素进行了具体分析。

论文目录

• 摘要
• ABSTRACT
• 目录
• 第一章 绪论
• 1.1 前言
• 1.2 课题主要研究的内容、目的
• 1.3 国内外发展现状及趋势
• 第二章 干涉波前检测
• 2.1 检测干涉仪
• 2.2 波前检测误差
• 2.3 宽光束子孔径拼接
• 第三章 子孔径拼接
• 3.1 子孔径拼接的原理
• 3.2 子孔径拼接的方法
• 3.3 子孔径拼接数据处理
• 3.4 子孔径数目的确定
• 第四章 子孔径拼接的实验与结果
• 4.1 系统组成及工作原理
• 4.2 数学模型
• 4.3 对比实验
• 4.4 实际结果
• 4.5 实验精度
• 第五章 子孔径拼接的精度分析
• 5.1 子孔径拼接精度影响因素
• 5.2 拼接原则对精度的影响
• 5.3 随机噪声对精度的影响
• 5.4 样本容量对精度的影响
• 5.5 元件放置倾斜对精度的影响
• 结论
• 致谢
• 参考文献