论文摘要
射频激励技术的应用使得高功率CO2激光器的综合性能得到很大的提高,主要表现在光束质量、工作稳定性等方面。深入了解射频放电机理对CO2激光的发展有重要的意义。本文主要从以下三个方面分析了射频放电特性:(1)利用一维射频放电模型对射频放电等离子体特性进行了分析,得到了横向电子密度分布、空间电场分布以及射频辉光放电区结构和等离子体的等效阻抗计算方法。并分析了不同频率范围内的气体击穿机理。同时,根据空间电子密度分布以及温度分布求得了放电区横向增益分布。(2)通过理论计算分析了频率与击穿电压和击穿功率的关系。同时,利用替代测量法得到了激励频率对等离子体等效阻抗的影响。并分析了不同谐振电感数目对极板电压分布的影响、激励频率对射频辉光放电区结构的影响,得到了与第一部分理论分析相一致的结论。(3)在大量数据分析的基础上总结了气体配比和气压参数选择方法。其中,重点论述了Xe对放电特性的影响。本文对气体的局部参数CO2的分解过程也进行了理论分析,找到了有效抑制CO2分解,提高激光器的输出功率和工作稳定性的方法。通过对射频放电特性及其影响因素的分析,得到了最佳激励频率、气体配比和工作气压的选择方法,同时,找到了抑制CO2分解的方法,为实际的激光器参数设计提供了依据和指导。
论文目录
相关论文文献
- [1].基于ANSYS Workbench的激光器壳体结构优化设计[J]. 制造技术与机床 2020(01)
- [2].组合冷却条件下Tm:YAG激光器热效应模拟[J]. 激光杂志 2020(06)
- [3].全球最大X射线激光器可助力新药研发在德国投入使用[J]. 中国医学计算机成像杂志 2018(01)
- [4].中国电子科技集团公司第十三研究所激光器产品推介[J]. 微纳电子技术 2018(06)
- [5].中国电子科技集团公司第十三研究所激光器产品推介[J]. 微纳电子技术 2018(05)
- [6].全球最大X射线激光器在德国投入使用 可助力新药研发[J]. 中国医学计算机成像杂志 2018(02)
- [7].中国电子科技集团公司第十三研究所激光器产品推介[J]. 微纳电子技术 2018(08)
- [8].HCN激光器小型化及工作参数优化[J]. 天津理工大学学报 2018(04)
- [9].中国超快激光器发展综述[J]. 激光杂志 2018(09)
- [10].中国电子科技集团公司第十三研究所激光器产品推介[J]. 微纳电子技术 2018(11)
- [11].均匀加宽激光器的时空混沌行为[J]. 光电技术应用 2016(05)
- [12].新型金属腔激光器设计与研究[J]. 实验技术与管理 2017(03)
- [13].改进神经网络在激光器参数优化中的应用[J]. 激光杂志 2017(05)
- [14].基于Nd:YVO_4/PPMgOLN的532nm紧凑型阵列激光器(英文)[J]. 红外与激光工程 2017(06)
- [15].全球最大X射线激光器在德国汉堡投入使用[J]. 工具技术 2017(10)
- [16].一次性激光器问世[J]. 现代物理知识 2016(04)
- [17].分布式反馈激光器温度监测系统设计[J]. 电子测量技术 2020(01)
- [18].纳米激光器进展、新物理问题以及技术挑战[J]. 中国激光 2020(07)
- [19].中国电子科技集团公司第十三研究所光电专业部产品推介[J]. 微纳电子技术 2019(02)
- [20].可低温工作的窄脉冲宽温激光器[J]. 中国激光 2019(01)
- [21].平衡调制集成DFB激光器的理论和实验研究[J]. 光通信技术 2017(12)
- [22].中国电子科技集团公司第十三研究所激光器产品推介[J]. 微纳电子技术 2018(01)
- [23].中国电子科技集团公司第十三研究所激光器产品推介[J]. 微纳电子技术 2018(04)
- [24].中国电子科技集团公司第十三研究所激光器产品推介[J]. 微纳电子技术 2018(07)
- [25].中国电子科技集团公司第十三研究所激光器产品推介[J]. 微纳电子技术 2018(12)
- [26].互注入垂直腔表面发射激光器的多次偏振转换特性研究[J]. 物理学报 2015(02)
- [27].线激光器的手眼标定方法[J]. 电子科技 2015(07)
- [28].单激光器剥线平台设计和工艺参数研究[J]. 应用激光 2015(05)
- [29].高性能稳频激光器增强国际竞争力 北大激光器团队亮相高交会[J]. 中国经济信息 2017(23)
- [30].世界上最亮手持激光器[J]. 科学大观园 2012(03)