光子筛的设计制作和检测

光子筛的设计制作和检测

论文摘要

光子筛是一种新型聚焦成像衍射光学元件,利用它可以对X光聚焦和成像,这是一般棱镜和玻璃材料的成像光学元件无法实现的。对光子筛的聚焦成像原理作了介绍,并应用平面波角谱方法对X射线光子筛(波长λ=4.5nm)的衍射场进行了数值计算。给出了衍射光强的径向分布和轴向分布,分析了背景光对聚焦光斑的影响,并研究了衍射光斑的半峰全宽、焦深、斯特内尔效率。结果表明,光子筛聚焦与波带片聚焦相比具有高分辨率和抑制高级衍射优点。详细介绍了光子筛的设计方法和步骤,在理论分析和计算机模拟的基础上,设计并制作了波带片、振幅型光子筛、未平滑处理和平滑处理后的光子筛。对它们的聚焦成像质量基于MATLAB环境下进行模拟和比较。最后,对波长为532nm激光用光子筛聚焦,并对聚焦光斑进行了检测,检测结果表明通过光子筛聚焦后的光斑比波带片的光斑更细,成像对比度更高。

论文目录

  • 摘要
  • ABSTRACT
  • 目录
  • 第一章 绪论
  • 1.1 引言
  • 1.2 光子筛研究的国内外现状
  • 1.3 论文研究的目的和内容
  • 第二章 衍射理论
  • 2.1 史历回顾
  • 2.2 标量衍射理论和矢量衍射理论
  • 2.3 基尔霍夫衍射公式
  • 2.4 瑞利—索末菲衍射公式
  • 2.5 平面波传播的角谱法
  • 2.6 时域有限差分算法
  • 第三章 光子筛的理论分析模型
  • 3.1 菲涅耳波带片
  • 3.2 菲涅耳波带片的理论模型分析
  • 3.3 菲涅尔波带片的性能参数分析
  • 3.4 光子筛
  • 3.5 光子筛的特性分析
  • 第四章 光子筛的设计和制作
  • 4.1 微光学的设计
  • 4.2 光子筛的设计
  • 4.3 微细加工技术简介
  • 4.4 光子筛的制作
  • 第五章 光子筛聚焦光斑检测系统
  • 结论
  • 致谢
  • 攻读硕士期间发表的论文和申请的专利
  • 参考文献
  • 相关论文文献

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