论文摘要
表面等离子体共振（Surface Plasmon Resonance, SPR）传感技术是一项新兴的生物化学检测技术。SPR传感技术具有免标记检测、实时检测生化反应的动力学过程、无损伤检测等独特的优点。本文从SPR传感器的背景入手,详细介绍了表面等离子体谐振的原理：运用新型聚合物PDMS为棱镜,阐述了棱镜的制作工艺和利用聚合物Parylene脱模的过程；沟道模具的材料选取了聚合物SU-8和单面抛光的硅片,键合也相应的提出了两种不同原理的方案。根据PDMS SPR传感器的测试结果,分析了影响PDMS SPR传感器特性的三个主要因素,给出相应的结论。
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