论文摘要
本文综述了当前B-C化合物的研究概况,简单介绍了几种制备B-C化合物的常用方法,并概述了目前人们已发现的B-C化合物的各种特性。本实验采用乙硼烷(B2H6)为B源,乙烯(C2H4)为C源,利用微波电子回旋共振化学气相沉积法(MWECR CVD)沉积得到了B-C薄膜。主要研究了源气体C2H4/B2H6摩尔比、工作气压、沉积温度以及微波功率对薄膜成分、价键结构以及沉积速率的影响。通过EDS谱对样品成分分析得出,随C2H4/B2H6摩尔比的增加,样品中C/B原子比呈指数关系增加。我们利用台阶仪测出样品膜厚,计算出沉积速率,发现:工作气压的增加,使沉积速率先增加后减小,在0.6 Pa时达到峰值,沉积速率为0.293 nm/s。随基片温度的升高,沉积速率也呈现出相同的规律,在100℃时达到最大,为0.227 nm/s。随着微波功率的增加,沉积速率逐渐增加。通过对样品XPS全谱分析得出,升高基片温度或增加微波功率,样品中的B含量均逐渐增加,C/B原子比随之降低。对样品XPS谱的B1s、C1s谱分析得出,随着基片温度的增加,B、C原子成键中B-C键数量均逐渐增加,即升高基片温度使B、C原子更容易结合成键。微波功率对B、C原子键合状态的影响也呈现出相同的规律,即升高微波功率有利于B、C原子相互结合成键。
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