MWECR CVD法制备B-C薄膜的工艺研究

MWECR CVD法制备B-C薄膜的工艺研究

论文摘要

本文综述了当前B-C化合物的研究概况,简单介绍了几种制备B-C化合物的常用方法,并概述了目前人们已发现的B-C化合物的各种特性。本实验采用乙硼烷(B2H6)为B源,乙烯(C2H4)为C源,利用微波电子回旋共振化学气相沉积法(MWECR CVD)沉积得到了B-C薄膜。主要研究了源气体C2H4/B2H6摩尔比、工作气压、沉积温度以及微波功率对薄膜成分、价键结构以及沉积速率的影响。通过EDS谱对样品成分分析得出,随C2H4/B2H6摩尔比的增加,样品中C/B原子比呈指数关系增加。我们利用台阶仪测出样品膜厚,计算出沉积速率,发现:工作气压的增加,使沉积速率先增加后减小,在0.6 Pa时达到峰值,沉积速率为0.293 nm/s。随基片温度的升高,沉积速率也呈现出相同的规律,在100℃时达到最大,为0.227 nm/s。随着微波功率的增加,沉积速率逐渐增加。通过对样品XPS全谱分析得出,升高基片温度或增加微波功率,样品中的B含量均逐渐增加,C/B原子比随之降低。对样品XPS谱的B1s、C1s谱分析得出,随着基片温度的增加,B、C原子成键中B-C键数量均逐渐增加,即升高基片温度使B、C原子更容易结合成键。微波功率对B、C原子键合状态的影响也呈现出相同的规律,即升高微波功率有利于B、C原子相互结合成键。

论文目录

  • 摘要
  • ABSTRACT
  • 第1章 绪论
  • 1.1 引言
  • 1.2 B-C 化合物的研究概况
  • 1.2.1 碳化硼的研究
  • 3 化合物的研究'>1.2.2 BC3化合物的研究
  • 1.3 B-C 化合物的合成方法
  • 1.3.1 化学气相沉积法(CVD)
  • 1.3.2 物理气相沉积法(PVD)
  • 1.3.3 高温高压法(HTHP)
  • 1.3.4 化学合成法
  • 1.4 B-C 化合物的物理性能
  • 1.4.1 电学性能
  • 1.4.2 力学性能
  • 1.4.3 光学性能
  • 1.5 B-C 化合物的应用前景
  • 1.6 本论文选题意义和研究目的
  • 第2章 MWECR CVD 沉积系统
  • 2.1 等离子体概述
  • 2.1.1 等离子体基本概念
  • 2.1.2 等离子体的存在尺度
  • 2.2 微波电子回旋共振(MWECR)等离子体
  • 2.2.1 MWECR 原理
  • 2.2.2 MWECR 等离子体的能量吸收
  • 2.2.3 MWECR 等离子体特点
  • 2.3 MWECR CVD 沉积系统介绍
  • 2.4 本章小结
  • 第3章 MWECR CVD 法制备B-C 薄膜的实验方法
  • 3.1 概论
  • 3.2 源气体的选取
  • 2H6)'>3.2.1 乙硼烷(B2H6
  • 2H4)'>3.2.2 乙烯(C2H4
  • 3.3 基片的处理
  • 3.4 B-C 薄膜的制备过程
  • 3.5 实验参数
  • 3.6 样品的表征方法
  • 3.6.1 X 射线能谱分析(EDS)
  • 3.6.2 台阶仪测试分析
  • 3.6.3 X 射线光电子能谱分析(XPS)
  • 3.7 本章小结
  • 第4章 系统参数对B-C 薄膜的影响
  • 2H4/B2H6 摩尔比对B-C 膜成分的影响'>4.1 源气体C2H4/B2H6 摩尔比对B-C 膜成分的影响
  • 4.2 工作气压对B-C 膜生长的影响
  • 4.2.1 工作气压对薄膜成分的影响
  • 4.2.2 工作气压对沉积速率的影响
  • 4.3 基片温度对B-C 膜生长的影响
  • 4.3.1 基片温度对沉积速率的影响
  • 4.3.2 基片温度对膜成分及原子成键的影响
  • 4.4 微波功率对B-C 膜生长的影响
  • 4.4.1 微波功率对沉积速率的影响
  • 4.4.2 微波功率对膜成分及原子成键的影响
  • 4.5 本章小结
  • 结论
  • 参考文献
  • 攻读硕士学位期间承担的科研任务与主要成果
  • 致谢
  • 作者简介
  • 相关论文文献

    • [1].微波功率管特征参数测试[J]. 现代雷达 2011(05)
    • [2].常压微波等离子体微波功率对硫化氢分解效率的影响[J]. 武汉工程大学学报 2013(03)
    • [3].硅微波功率管键合失效机理分析[J]. 固体电子学研究与进展 2014(04)
    • [4].基于前馈模糊逻辑的微波功率控制设计与分析[J]. 计算机测量与控制 2014(06)
    • [5].微波功率管测量的微波辐射分析与防护[J]. 电子质量 2012(10)
    • [6].对称式微波功率传感器的设计[J]. 光学精密工程 2011(01)
    • [7].高精度微波功率控制技术研究[J]. 西安工业大学学报 2010(01)
    • [8].基于单位质量微波功率的圆片状物料干燥特性研究[J]. 机械制造 2011(01)
    • [9].基于ARM Cortex-M0的微波功率控制技术研究[J]. 机电工程技术 2011(05)
    • [10].利用微波功率传感器判断新一代天气雷达故障[J]. 气象 2011(08)
    • [11].基于故障树的微波功率组件自动测试系统[J]. 雷达与对抗 2013(03)
    • [12].微波功率合成网络及其仿真设计[J]. 科技视界 2012(35)
    • [13].对称式微波功率传感器的幅度调制测量(英文)[J]. Journal of Southeast University(English Edition) 2010(01)
    • [14].宽带峰值微波功率分析仪典型故障分析[J]. 电子制作 2013(05)
    • [15].基于MEMS技术的对称式微波功率传感器的设计研究[J]. 科技风 2013(20)
    • [16].基于LabVIEW的微波功率监测系统设计[J]. 半导体技术 2014(06)
    • [17].微波功率组件基板热阻研究[J]. 电子机械工程 2012(06)
    • [18].微波功率组件自动测试系统[J]. 雷达科学与技术 2012(05)
    • [19].基于网格划分策略的微波功率的实时控制[J]. 测控技术 2014(03)
    • [20].微波复热时间和微波功率对预油炸牛肉串品质的影响[J]. 食品工业科技 2013(08)
    • [21].微波膨化苹果脆片的响应曲面法优化分析[J]. 南方农业学报 2011(02)
    • [22].低糖枇杷果脯的微波干燥动力学研究[J]. 现代食品科技 2012(12)
    • [23].固态雷达发射机的心脏——微波功率管[J]. 电子世界 2013(23)
    • [24].双孢菇微波膨化工艺的优化[J]. 食品与发酵工业 2011(01)
    • [25].微波功率、辐射时间及污泥量对污泥微波干燥效能的综合影响研究[J]. 环境工程学报 2010(10)
    • [26].微波干燥脱水污泥性质变化及分析[J]. 山东科技大学学报(自然科学版) 2010(03)
    • [27].离子液体微波辅助提取土茯苓中黄酮的研究[J]. 时珍国医国药 2010(08)
    • [28].微波干燥对油菜籽品质及气味成分的影响[J]. 中国粮油学报 2013(01)
    • [29].工装材料对微波功率电路焊透率的影响[J]. 电子工艺技术 2013(05)
    • [30].美国科锐公司的几款宽禁带微波功率放大器件[J]. 半导体信息 2011(01)

    标签:;  ;  

    MWECR CVD法制备B-C薄膜的工艺研究
    下载Doc文档

    猜你喜欢