多点测量尘埃粒子计数系统

论文摘要

洁净室是各个高精尖科技领域发展所必需的环境,而多点测量系统又是当前洁净室检测方法中最先进的方法,没有它就没有洁净室。因此发展基于多点测量系统的洁净室是我们发展高精尖科技产业所必须的有力保障。同时多点测量系统本身也有着广泛的应用场合和广阔的市场前景,因此研发此系统有着重要的意义。本文以尘埃粒子计数器的设计为主线,论述的主要内容如下:1、介绍了尘埃粒子计数器的使用环境,尘埃粒子计数器在洁净室中的重要作用。2、详细介绍了尘埃粒子计数器实现的光学原理,以及选择计数器中主要的光学元器件的方法。3、详细设计了尘埃粒子计数器的硬件电路实现方式,以及为其定制的前置放大电路,数据采集电路。4、编写了尘埃粒子计数器的软件程序,并对软件系统进行了详尽的说明和分析。5、对于系统中多点测量的详细介绍,并用实际的测量数据来检验多点测量尘埃粒子计数系统的准确性。

论文目录

• 中文摘要
• Abstract
• 第一章 引言
• 1.1 洁净室的概述
• 1.2 洁净室与多点测量系统
• 1.3 国外现状和选题的意义
• 1.4 本章小结
• 第二章 计数器光学部分
• 2.1 计数器光学传感器
• 2.2 光学原理
• 2.3 光电元器件的选择
• 2.3.1 激光二极管（光源）
• 2.3.2 光电二极管
• 2.3.3 反射镜的选择
• 2.4 本章小结
• 第三章 硬件电路设计
• 3.1 硬件电路介绍
• 3.1.1 激光驱动电路
• 3.1.2 光电检测电路
• 3.1.3 前置放大电路
• 3.1.4 检测信号放大电路
• 3.1.5 比较电路和计数电路
• 3.2 S3C6410 概述
• 3.3 数据存储电路
• 3.4 本章小结
• 第四章 软件系统
• 4.1 软件系统简介
• 4.2 搭建ADS 开发环境
• 4.2.1 开发环境简介
• 4.2.2 硬件开发环境的搭建
• 4.2.3 软件开发环境的搭建
• 4.3 WINDOWS CE 简介以及移植
• 4.3.1 WINDOWS CE 简介
• 4.3.2 WINDOWS CE 在 S3C6410 上的移植
• 4.4 基于MFC 的应用程序
• 4.4.1 UI 界面模块
• 4.4.2 数据库部分
• 4.4.3 数据采集模块
• 4.4.4 数据分送模块
• 4.5 本章小结
• 第五章 网络系统构建及测试
• 5.1 网络系统构建
• 5.2 测量方法及数据
• 5.3 本章小结
• 第六章 总结与展望
• 参考文献
• 致谢