论文摘要
采用静电放电仿真器对集成电路进行静电放电模拟的测试,是目前业界最常见的做法。然而对于ESD荷电器件静电放电仿真器而言,不同仿真器装置之间的差异及一些ESD标准中未提及因素的影响,易造成测试装置验证波形与标准波形发生偏离,从而令静电放电测试波形的可重复性及不同测试装置测试数据的可比性不强,是目前在静电放电波形研究中面临挑战。在静电放电波形中放电峰值电流是基于荷电器件放电模式的放电测试装置中波形验证的关键指标。本文主要针对CDM荷电器件放电峰值电流进行研究,分析影响放电峰值电流的几个测试条件:测试探针长度,直径,形状和充电盘绝缘介电层的厚度,其变化对放电峰值电流的影响规律。根据研究结果可调整相应测试条件以保证荷电器件放电模式的测试装置符合测试标准。研究基于LRC放电电路的等效模型,发现回路电容和电感是峰值电流的主要的影响因素,另外测试探针的形状对于放电电流及分布也有显著的影响。模型分析与实验结果可以得到满意的定量或定性解释。
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