本文主要研究内容
作者马玉平,张遥,魏超,李翔（2019）在《飞秒激光抛光CVD金刚石涂层表面》一文中研究指出：为了实现降低金刚石涂层粗糙度的目的,本文研究了飞秒激光功率,重复频率以及扫描速度对金刚石涂层表面粗糙度的影响,试验之后利用白光干涉仪检测抛光区域形貌以及粗糙度。试验结果表明:粗糙度随着功率的降低而减小,当功率降至100mw以下时抛光后的粗糙度会随着功率的降低而略微的提高;重复频率对抛光后的粗糙度无显著影响;粗糙度随扫描速度的增大而减小,当扫描速度增加到1.6mm/s之后,粗糙度会出现略微的升高。在功率100mw,重复频率1KHz,扫描速度1.6mm/s的条件下,得到的粗糙度最低,约为0.14μm,局部区域粗糙度可降至100nm以下,并且抛光的区域相对于未抛光区域更具有致密性,基本上满足金刚石涂层低摩擦表面的要求。
Abstract
wei le shi xian jiang di jin gang dan tu ceng cu cao du de mu de ,ben wen yan jiu le fei miao ji guang gong lv ,chong fu pin lv yi ji sao miao su du dui jin gang dan tu ceng biao mian cu cao du de ying xiang ,shi yan zhi hou li yong bai guang gan she yi jian ce pao guang ou yu xing mao yi ji cu cao du 。shi yan jie guo biao ming :cu cao du sui zhao gong lv de jiang di er jian xiao ,dang gong lv jiang zhi 100mwyi xia shi pao guang hou de cu cao du hui sui zhao gong lv de jiang di er lve wei de di gao ;chong fu pin lv dui pao guang hou de cu cao du mo xian zhe ying xiang ;cu cao du sui sao miao su du de zeng da er jian xiao ,dang sao miao su du zeng jia dao 1.6mm/szhi hou ,cu cao du hui chu xian lve wei de sheng gao 。zai gong lv 100mw,chong fu pin lv 1KHz,sao miao su du 1.6mm/sde tiao jian xia ,de dao de cu cao du zui di ,yao wei 0.14μm,ju bu ou yu cu cao du ke jiang zhi 100nmyi xia ,bing ju pao guang de ou yu xiang dui yu wei pao guang ou yu geng ju you zhi mi xing ,ji ben shang man zu jin gang dan tu ceng di ma ca biao mian de yao qiu 。
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自光学精密工程的马玉平,张遥,魏超,李翔，发表于刊物光学精密工程2019年01期论文，是一篇关于飞秒激光论文,金刚石涂层论文,粗糙度论文,致密性论文,光学精密工程2019年01期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自光学精密工程2019年01期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。
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